Машина 5 тонн фотон: Модельный ряд Foton 2021 — вся линейка автомобилей Фотон на официальном сайте

FOTON 5 тонн

    Вы здесь:  

  1. Главная
  2. Грузовики 5 тонн
  3. FOTON 5 тонн

Просмотров: 47678

Смотреть все ГРУЗОВИКИ

  В наличии и под заказ! Доставка по всей России!  

ВНИМАНИЕ! ДАННЫЙ АВТОМОБИЛЬ ИМЕЕТ ОТТС (ОДОБРЕНИЕ ТИПА ТРАНСПОРТНОГО СРЕДСТВА) И СЕРТИФИКАТЫ СООТВЕТСТВИЯ ОТ ОФИЦИАЛЬНОГО ДИЛЕРА И РАЗРЕШЕН ДЛЯ ВВОЗА И ЭКСПЛУАТАЦИИ НА ТЕРРИТОРИИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ.

Описание:/strong>
Модель: Aumark BJ 1061VCJEA-F
Колесная формула: 4х2
Ширина кабины: 1995 мм
Количество мест: 3
Габаритные размеры шасси (L x W x H): 6725×2100×2280 мм
Монтажная длина: 5045 мм
Колесная база: 3800 мм
Колея (передняя/задняя): 1685/1615 мм
Клиренс: 180 мм
Снаряженная масса шасси: 3200 кг
Полная масса: 8200 кг
Грузоподъемность: 5000 кг
Нагрузка на переднюю ось: 2950 кг
Нагрузка на задний мост: 5250 кг
Двигатель: Cummins ISF3. 8s 4141
Мощность: 154 л.с.
Крутящий момент: 491 Н*м
Коробка переключения передач: 651B
Количество передач: 6
Расход топлива: 14 л/100 км
Максимальная скорость: 95 км/ч
Максимальный угол подъема: 30 %
Шины: 7.50 х R16
Объём топливного бака: 120 л
Надстройки: промтоварный фургон, изотермический фургон (термобудка), автоэвакуатор (эвакуатор), бортовой
Комплектация: АБС, Горный тормоз, Солнцезащитные козырьки, Отопитель салона, Радиоприёмник, антенна, динамики, CD, Центральный замок, Электростеклоподъемники, Регулируемая рулевая колонка, Гидроусилитель руля, Блокировка руля, Кондиционер, Внутренние вставки под натуральное дерево, Дополнительное утепление пола (войлок), Ремни безопасности, Салонное зеркало, Обтекатель крыши (Спойлер), Противотуманные фары, Инструментальный ящик, Фильтр предварительной очистки топлива, Зеркала заднего вида с подогревом, Заднее и боковые противоподкатные устройства, Бампер, окрашенный в цвет кабины, Запасное колесо, Буксировочный крюк, Алюминиевый топливный бак
Цена и технические характеристики уточняются по телефону: 8-923-510-87-77!
Купить грузовик Foton сейчас — звоните: 8-908-947-77-77!

Вы можете купить китайский грузовик FOTON AUMARK BJ1061, грузоподъемностью 5 тонн, промтоварный фургон, изотермический фургон (термобудка), бортовой в ЛИЗИНГ или КРЕДИТ. Ознакомиться с условиями Вы можете здесь.

 

Описание: 
Модель: Ollin BJ 1069VCJEA-S
Колесная формула: 4х2
Ширина кабины: 1995 мм
Количество мест: 3
Габаритные размеры шасси(L x W x H): 6725×2100×2280 мм
Монтажная длина: 5025 мм
Колесная база: 3800 мм
Колея (передняя/задняя): 1685/1600 мм
Клиренс: 190 мм
Снаряженная масса шасси: 3670 кг
Полная масса: 7670 кг
Грузоподъемность: 4000 кг
Нагрузка на переднюю ось: 2900 кг
Нагрузка на задний мост: 4770 кг
Двигатель: Phaser 135Ti
Мощность: 135 л.с.
Крутящий момент: 460 Н*м
Коробка переключения передач: 6T46
Количество передач: 6
Расход топлива: 15 л/100 км
Максимальная скорость: 95 км/ч
Максимальный угол подъема: 25 %
Шины: 6+1/7. 00 х R16
Объём топливного бака: 120 л
Надстройки: промтоварный фургон, изотермический фургон (термобудка), бортовой, с крановой установкой (КМУ-3,2 тонны), автоэвакуатор (эвакуатор до 3 250 кг),
Комплектация: АБС, Горный тормоз, Солнцезащитные козырьки, Отопитель салона, Радиоприёмник, антенна, динамики, Центральный замок, Электростеклоподъемники, Регулируемая рулевая колонка, Гидроусилитель руля, Блокировка руля, Дополнительное утепление пола, Ремни безопасности, Салонное зеркало, Обтекатель крыши (Спойлер), Противотуманные фары, Инструментальный ящик, Коробка отбора мощности, Фильтр предварительной очистки топлива, Зеркала заднего вида с подогревом, Заднее и боковые противоподкатные устройства, Бампер, окрашенный в цвет кабины, Запасное колесо, Буксировочный крюк

Вы можете купить китайский грузовик FOTON OLLIN BJ 1069 грузоподъемностью 5 тонн, промтоварный фургон, изотермический фургон (термобудка), бортовой, с крановой установкой (КМУ-3,2 тонны), автоэвакуатор (эвакуатор), в ЛИЗИНГ или КРЕДИТ. Ознакомиться с условиями Вы можете здесь.

Мы имеем возможность продать и доставить, а Вы купить строительную и спецтехнику в следующие города: Кемерово, Новокузнецк, Междуреченск, Белово, Ленинск-Кузнецкий, Киселевск, Прокопьевск, Нижневартовск, Ханты-Мансийск, Сургут, Ноябрьск, Тюмень, Томск, Новосибирск, Барнаул, Горно-Алтайск, Красноярск, Абакан, Канск, Братск, Иркутск, Улан-Уде, Тыва, Чита, Нерюнгри, Крым, Севастополь, Краснодар, Ростов-на-Дону, Екатеринбург, Курган, Москва,Санкт-Петербург, Брянск, Ишим, Омск, Калуга, Ярославль, Великий Новгород, Ульяновск, Тольятти, Петрозаводск, Орел, Курск, Тула, Владимир, Уфа, Псков, Котлас, Магадан, Комсомольск-на-Амуре, Благовещенск, Хабаровск, Тында, Уссурийск, Мурманск, Набережные Челны, Иваново, Рязань, Белгород, Липецк, Смоленск, Нижний Новгород, Воронеж, Тамбов, Пенза, Череповец, Кострома, Тверь, Вологда, Новороссийск, Волгоград, Ставрополь, Саратов, Саранск, Чебоксары, Йошкар-Ола, Киров, Самара, Ижевск, Оренбург, Ухта, Пермь, Челябинск, Магнитогорск, Тобольск, Тара, Салехард.

Фотон 1093 — ТТМ Центр

  • Купить в кредит
  • Купить в лизинг
  • Страхование
  • Trade-in

Данный автомобиль снят с производства.

На смену Foton 1093 теперь выпускается

аналогичный по характеристикам Foton Aumark BJ1129


Легкий, недорогой грузовик китайского производства Foton Ollin BJ 1093 отлично зарекомендовал себя на российских дорогах в тяжелых климатических условиях. Этот автомобиль был специально разработан для эксплуатации в условиях повышенных нагрузок. Он способен выполнять свои функции при низкой температуре окружающей среды, повышенной влажности, плохом дорожном покрытии и при прочих негативных факторах.

Китайский среднетоннажный грузовой автомобиль Foton Ollin BJ 1093 способен перевозить грузы, массой до 6.5 тонн. Полная масса нагруженной машины составляет 10. 7 тонн. Оснащается 4-литровым дизельным двигателем, мощностью 132 л.с., демонстрирующим отличные динамичные характеристики и экономичность. Расход топлива в смешенном режиме составляет около 18 литров на 100 км хода. Бак рассчитан на 120 литров солярки. Также к преимуществам силового агрегата грузовика можно отнести экологичность, неприхотливость к качеству топлива и надежность.

Выпускаться эта модель грузовика может в нескольких вариациях, в зависимости от типа надстройки кузова и оснащения. Наибольшее распространение получили промтоварные фургоны, изготовленные из сэндвич панелей. Возможны два варианта кузова, отличающиеся габаритными размерами, в первом можно перевозить до 12 европаллет, во втором – до 14 паллет европейского стандарта.

Несмотря на свою высокую грузоподъемность (для грузовика этого класса), Foton Ollin BJ 1093 настолько же маневренный, как и малотоннажные, легкие фургоны. Он демонстрирует прекрасную управляемость, как в черте города на загруженных автомобилями улицах, так и на скоростных междугородних трассах. Великолепный обзор и практически полное отсутствие мертвых зон – это результат наличия обширного лобового стекла и больших зеркал заднего вида.

В базовую комплектацию грузовика входит антиблокировочная система, противотуманные фары, отопитель салона, аудиоподготовка, электростеклоподъемники и зеркала заднего вида с подогревом. Удобство нахождения за рулем, а также процесс вождения обеспечивает регулировка рулевой колонки, гидроусилитель руля, горный тормоз, утепление пола и пр. Эргономика салона на высоком уровне – все элементы управления автомобилем и системами находятся на привычных местах, легко доступны и понятны в настройке. Сам салон выполнен в приятном, запоминающимся стиле, материал отделки выглядит дорого и надежно.























Технические характеристики

Страна происхождения:

Китай

Водительская категория:

С

Полная масса:

10. 7 т

Грузоподъемность по ПТС:

5– 5.5 т.

Фактическая грузоподъемность:

до 6,5 т.

Кабина:

 

Колесная формула / ведущие колеса:

4 x 2 / задние

Ошиновка заднего моста:

двускатная

Тип двигателя:

дизель    Phaser 135 Ti-30

Объем двигателя:

4 л.  

Мощность:

132 л.с.

КПП:

механическая, 6-ступенчатая

Подвеска:

передняя /задняя – зависимая, рессорная

Тормоза:

передние /задние – барабанные с пневматическим приводом

Шины:

8. 25 R16

Размеры стандартного

фургона ДхШхВ:

5,45х2,54х2,35

Внутренний объем фургона:

30 м.куб.

Вместимость паллет:

14 паллет

Гарантия:

2 года 100 000 км.

Межсервисный интервал:

10 000 км.

Расход топлива:

18 литров / 100 км.

Топливный бак:

120 л.


Комплектация

  • АБС
  • Тахометр
  • Горный тормоз
  • Солнцезащитные козырьки
  • Противотуманные фары
  • Отопитель салона
  • Инструментальный ящик
  • Радиоприёмник, антенна, динамики
  • Коробка  отбора мощности
  • Центральный замок
  • Фильтр предварительной очистки топлива
  • Электростеклоподъемники
  • Зеркала заднего вида с подогревом

  • Регулируемая рулевая колонка
  • Заднее и боковые противоподкатные устройства
  • Гидроусилитель руля
  • Бампер, окрашенный  в цвет кабины
  • Блокировка руля
  • Запасное колесо
  • Дополнительное утепление  пола (войлок)
  • Буксировочный крюк
  • Ремни безопасности
  • Салонное зеркало

Размеры стандартных надстроек устанавливаемых на шасси Foton 1093









 

Наименование

 

 

Наружные размеры  фургона  (мм)

 

 

Внутренние размеры фургона (мм)

 

 

Внутренний

объем (м3)

 

Д

Ш

В

Д

Ш

В

фургон длиной 5. 4м

Промтоварный фургон

5450

2540

2350

5350

2440

2200

28.7

Сендвич фургон

низкой изот.

5350

2440

2182

28.5

средней изот.

5210

2440

2162

27. 5

высокой изот.

5250

2400

2122

26.7

* возможно изготовление фургонов по индивидуальным размерам

в пределах допусков, указанных в ОТТС

Схема расположения европаллет (1200х800) в кузове

Фотонный микротоковый аппарат 7 в 1

Распродажа!

449,95 $

Фотонный микротоковый аппарат 7 в 1. количество

Добавить в список желаний

Категория: Омоложение кожи

  • Описание

  • Дополнительная информация

Описание

Напряжение 100–240 В (используется по всему миру)
Сетевая вилка

Плоская заглушка стандарта США-2

(Предложим бесплатный переходник покупателям из разных стран)

Частота 50–60 Гц
Уровень мощности микротока Регулируемый
Уровень мощности фотонного света Регулируемый (низкий/средний/сильный)
Фотонные цвета 7 цветов Регулируемый
Таймер Нет
Зонд Двойные датчики (могут работать одновременно)
Упаковка 4 кг

Международные покупатели – Обратите внимание:

а) Импортные пошлины, налоги и сборы не включены в цену товара или стоимость доставки. Эти обязанности ответственность покупателей.
б) Пожалуйста, свяжитесь с таможней вашей страны, чтобы определить, какие дополнительные расходы будут возникать до торгов/покупки.

 Описание продукта

Функция 1: Микротоковая подтяжка кожи

 Микротоковая биоподтяжка лица — это нехирургический неинвазивный косметический метод, обеспечивающий множество эстетических преимуществ. Биоподтяжка лица использует технологию, называемую микротоком, при которой слабый электрический ток мягко доставляется в обрабатываемую область, чтобы вызвать благоприятные химические реакции на клеточном уровне кожи. Электрический ток биофейслифтинга очень похож на собственный естественный электрический ток тела, что дает ряд преимуществ.

Биоподтяжка лица безопасна и эффективна для следующих целей:

  • для улучшения тонуса мышц лица и шеи
  • подтяжка щек и бровей
  • омолодить кожу
  • уменьшает появление тонких линий и морщин
  • уменьшить отечность и выровнять тон кожи
  • улучшить кровообращение лица
  • пилинг кожи
  • лимфодренаж
  • проникновение продукта
  • средство от солнечных лучей
  • целлюлит

Функция 2: Фотонное омоложение

Светоизлучающие диоды (LED) — проверенный метод борьбы со старением. Он излучает терапевтические длины волн (или цвета) световой энергии. Когда свет достигает дермы, клетки дермального слоя преобразуют эту световую энергию в топливо, которое клетки используют для оптимального функционирования. Они производят коллаген и эластин, которые, по сути, имитируют кожу двадцатилетней кожи. Морщины значительно уменьшились благодаря новой полноте коллагена. Противопоказаний нет, и все типы и состояния кожи могут использовать эту технологию. Это безопасно для использования вокруг глаз, и нет никаких ограничений для использования. Каждый цвет спектра по-разному влияет на кожу. Преимущества включают, но не ограничиваются:

  • лечение акне
  • улучшить тон кожи
  • уменьшить размер пор
  • осветляет тон кожи
  • омолодить кожу
  • уменьшить воспаление
  • отступающие капилляры
  • отбелить кожу
  • усиление кровообращения
  • нормализует работу сальных желез
  • уменьшает черные точки и язвы
  • вылечить солнечный ожог

Лечебный эффект:

  • Красный: Vitalize подходит для любой кожи, улучшает кровообращение и регенерирует белок коллагена для разглаживания кожи и лечения ксеродермии, эксувиации, дегенеративного выпадения волос и фолликулеза.
  • Blue: Calm подходит для чувствительной, жирной и комедоновой кожи — уменьшает и устраняет бациллы акне, удаляет прыщи, шелушения, способствует синтезу белка с оссеином, активизирует кожу, подтягивает дряблую кожу и морщины.
  • Зеленый: Баланс Нормализует работу сальных желез, уменьшает черные точки и язвы, балансирует влажность.
  • Фиолетовый: Дренаж Обновляет кожу, уменьшает морщины
  • Оранжевый: осветляет, отбеливает, разлагает пигмент и сглаживает страхи
  • Бирюза: защита укрепляет способность защищать кожу, успокаивать, снимать стресс, лечить солнечные ожоги
  • Белый: направляет кожу для поглощения питательных веществ и защиты от старения

Дисплей продукта


Новый взгляд на литографию

EUV | Laser Focus World

После трех десятилетий разработки новое поколение литографических машин было отправлено крупным производителям компьютерных микросхем. Он использует экстремальный ультрафиолетовый свет (EUV) на длине волны 13,5 нм, чтобы уменьшить размер кремниевых элементов до нескольких нанометров в микросхемах памяти и процессорах завтрашнего дня.

Такая система литографии EUV, состоящая из более чем 100 000 компонентов, является одной из самых сложных когда-либо построенных машин. Он накачивается самой мощной лазерной системой, когда-либо выпускавшейся серийно. В общей сложности он весит 180 тонн и потребляет более 1 МВт электроэнергии. Он стоит 120 миллионов долларов и распродан годами.

Крупные литейные заводы ждали его уже довольно давно. Теперь основные технические проблемы решаются благодаря уникальному альянсу высокотехнологичных компаний, включая Trumpf (Дитцинген, Германия), Zeiss (Оберкохен, Германия) и ASML (Вельдховен, Нидерланды). Стоит заглянуть в историю этого технологического шедевра, а также подумать о том, что может быть дальше.

Почему EUV?

Ультрафиолетовое излучение (иногда также называемое XUV) обозначает мягкое рентгеновское излучение с длиной волны от 124 до 10 нм или энергию фотонов от 10 до 124 эВ. Солнце производит EUV; люди создают его с помощью синхротронов или из плазмы.

До сих пор производители чипов использовали ультрафиолетовый (лазерный) свет для проецирования сложных рисунков на кремниевые пластины, покрытые фоторезистом. В процессе, аналогичном проявлению старых бумажных фотографий, эти узоры развиваются и становятся проводящими или изолирующими структурами внутри одного слоя. Этот процесс повторяется до тех пор, пока сложные системы, образующие интегральную схему, такую ​​как микропроцессор, не будут завершены.

Разработка таких литографических систем обусловлена ​​экономией: требуется все больше вычислительной мощности и емкости для хранения данных, а затраты и энергопотребление должны быть снижены. Это развитие можно описать простым правилом, известным как закон Мура, согласно которому количество транзисторов в плотной интегральной схеме удваивается примерно каждые два года.

Основное ограничение связано с законами оптики. Немецкий физик Эрнст Аббе обнаружил, что разрешение микроскопа d (примерно) ограничено длиной волны λ света, используемого для освещения:

d = λ/(n sin( α ))          (1)

, где n — показатель преломления объекта между объектом и средой α — полуугол светового конуса объектива. Для литографии, подставив числовую апертуру (NA) вместо n sin(α) и добавив коэффициент k к формуле (поскольку литографическое разрешение можно сильно изменить с помощью трюков с освещением), минимально возможная структура или критический размер (CD):

CD = k λ /NA          (2)

Эта формула, управляющая всеми процессами литографического изображения, делает очевидным, почему длина волны является таким важным параметром. В результате инженеры искали источники света с все более короткими длинами волн, чтобы создавать все более мелкие детали. Начав с УФ-ртутных ламп, они перешли к эксимерным лазерам с длиной волны 193 нм. Индустрия литографии была удивлена, когда Intel объявила в мае 2003 года , что она откажется от эксимерного лазера 157 нм в качестве следующего шага и вместо этого перейдет на EUV с длиной волны 13,5 нм. Проблемы с оптическими материалами рассматривались как основное препятствие, и казалось, что до разработки EUV осталось всего несколько шагов.

В то время сообщалось, что научный сотрудник Intel и директор по операциям основного оборудования для литографии Питер Сильверман представил дорожную карту , показывающую, что EUV будет развернута для 32-нм узла в 2009 году . Это оказалось слишком оптимистичным, и людям пришлось искать способы использовать 193-нм источники для достижения все более мелких характеристик с помощью таких методов, как иммерсионная литография и сложные трюки с освещением.

Источник света EUV для промышленности

Для литографии EUV необходимо было решить множество проблем; в первую очередь нужен был мощный источник света. В начале 2000-х источники на основе разрядной плазмы (например, рекламируемые Xtreme Technologies) казались наиболее благоприятными, но вскоре источники лазерной плазмы показали, что они наиболее жизнеспособны для масштабирования. Группы в Японии, Европе и США усердно работали над этим подходом.

Наконец, компания Cymer из Сан-Диего выиграла гонку с системой, использующей CO 2 для создания EUV-излучения из капли олова размером 30 мкм. Хотя в 2007 году они продвигали довольно нестабильный источник мощностью 30 Вт, именно в 2014 году они впервые показали, как достичь мощности 250 Вт, что считалось прорывом для крупносерийного производства. Повышение эффективности процесса преобразования EUV было замечательным прикладным исследованием, которое, в конце концов, сделало литографию EUV жизнеспособной. Чтобы обеспечить более быстрый прогресс (и обеспечить безопасность своего единственного поставщика), ASML приобрела Cymer в 2012 году.

Возможное решение для получения достаточного количества EUV-излучения для коммерческой жизнеспособности — это машина, которая впечатляет даже опытных специалистов по лазерам. Он основан на самом мощном лазере, который когда-либо производился серийно: CO 9 мощностью 40 кВт.0238 2 лазер. Для всей системы требуется источник питания мощностью 1 МВт. Поскольку для обработки пластины используется лишь небольшая часть из 200 Вт мощности, охлаждение является серьезной проблемой.

Единственным поставщиком этой технологии является TRUMPF в Дитцингене, Германия. Владелец и технический директор Trumpf Питер Лейбингер хорошо осведомлен о роли своей компании: «Если мы потерпим неудачу, закон Мура перестанет действовать. Конечно, мир не зависит от TRUMPF, но без TRUMPF индустрия чипов не смогла бы этого сделать», — сказал он в интервью в 2017 году9.0003

Типовой CO 2 Лазеры TRUMPF производят несколько киловатт непрерывного (CW) излучения. Это как раз подходит для резки стали. Для EUV компания TRUMPF разработала лазер, производящий импульсное излучение мощностью 40 кВт с частотой повторения 50 кГц. Лазер с двумя затравочными модулями и четырьмя каскадами усиления настолько велик, что его приходится размещать на отдельном этаже под машиной EUV.

Чтобы не отставать от рыночного спроса, компания TRUMPF вложила значительные средства в совершенно новый завод с 10 производственными участками только для этих лазеров. На их сборку ушло 10 недель, и теперь компания может выпускать 50 систем в год. На момент написания статьи в эксплуатации находились 44 системы, а в 2019 году ожидалось 30 поставок. .

Примечание. Разрешение систем NXE:3400 составляет около 13 нм; это относится к формуле (2) и фактическому шагу затвора. Это сильно отличается от «узлов», часто обсуждаемых производителями микросхем. Первоначально узлы относились к длине затвора транзистора. Очевидно, что это может различаться в зависимости от процесса и, следовательно, производителя. Однако сегодня узел относится только к определенному процессу, разработанному производителем микросхем, и не соответствует непосредственно разрешению оптики. Например, производители чипов рекламируют 7-нм или 3-нм узлы, ссылаясь на свои собственные процессы, использующие аналогичные машины EUV.

Ключевое значение имеет сотрудничество

Хотя в общей сложности задействовано более 1000 поставщиков, основная технология создается компаниями Trumpf, Zeiss и ASML. Они разработали довольно нетрадиционные формы сотрудничества в проекте EUV. Питер Лейбингер из Trumpf назвал ее «фактически объединенной компанией» с открытой политикой и обширным обменом людьми и ноу-хау.

Zeiss SMT имеет долгую историю с ASML , так как компания произвела свою первую литографическую оптику для Philips в 1983; этот бизнес был выделен в 1984 году и получил название ASML.

Вместе Zeiss и ASML завоевали рынок литографических систем задолго до EUV. В 2010 году у них уже было около 75% рынка литографических систем. Пока что они являются единственными поставщиками систем EUV промышленного уровня. Чтобы укрепить отношения, ASML купила 24,9% акций Zeiss SMT примерно за один миллиард евро в ноябре 2016 года. Кроме того, ASML пообещала поддерживать усилия Zeiss SMT в области исследований и разработок в течение шести лет с 220 миллионами евро плюс некоторая инвестиционная поддержка в размере 540 миллионов евро. .

Эти деньги были очень нужны, так как Zeiss вкладывала значительные средства в EUV. Компания построила цеха для производства и метрологии недалеко от Оберкохена, Германия; в настоящее время он завершает подготовку к следующему поколению оптики EUV с более высокой числовой апертурой — еще одна инвестиция в размере 700 миллионов евро. Сюда входят высоковакуумные камеры размером с грузовик для метрологии оптических систем. Зеркальные поверхности, испытываемые в этих камерах, имеют максимальный допуск 0,5 нм, поэтому в них используется самая точная юстировочная и метрологическая технология, когда-либо созданная в промышленности.

Окончательная сборка 180-тонного инструмента

Zeiss SMT располагает гигантским высокотехнологичным предприятием, но по размеру его превосходят производственные цеха ASML в Вельдховене. Если вы зайдете туда в столовую, вы можете почувствовать себя в кампусе в Калифорнии. Многие молодые люди всех национальностей собираются вокруг и потягивают свой латте. Эта среда может отражать тот факт, что ASML пришлось быстро нанимать новых сотрудников, чтобы не отставать от их быстрого роста. В 2018 году их штат вырос на 21%, и теперь в нем работает более 800 докторов наук и более 7500 инженеров, а общая численность персонала составляет 23 000 человек.

Здания за кафетерием представляют собой самую большую чистую комнату, которую я когда-либо видел. В залах пять на пять завершены шаговые станки EUV. Текущая топ-модель NXE:3400B весит 180 тонн и требует для перевозки 20 грузовиков или трех полностью загруженных самолетов Boeing 747. Ценник — 120 миллионов долларов. Он может обрабатывать 125 пластин в час с разрешением до 13 нм.

Во второй половине 2019 года было объявлено о поставке обновленного NXE:3400C. Он будет оснащен оптическими элементами с более высоким коэффициентом пропускания, модульным корпусом для значительно более быстрого обслуживания, а также более быстрой сеткой и обработчиком пластин для повышения производительности. Эти устройства достигают пропускной способности 170 пластин в час.

Что следует за EUV?

Ответ — EUV. Пока оптика EUV достигла числовой апертуры 0,33. Следующее поколение (ASML объявило машину как NXE Next) будет иметь числовую апертуру 0,55, что обеспечит разрешение менее 8 нм. Он включает в себя более крупную оптику, что объясняет большие и повышенные усилия ZEISS SMT. Zeiss уже начала производство в этом году.

В результате этих совместных усилий становится ясно, что технология доведена до своих физических пределов, обеспечивая характеристики, которые до сих пор были немыслимы. Например, пластины внутри литографической системы удерживаются на специальных стеклянных пластинах (так называемые вафельные зажимы). Они движутся с ускорением до 3g, удерживая пластину на месте с точностью до нанометра. В то же время пластина освещается ЭУФ светом при тепловой нагрузке 30 кВт/м 2 без потери точного местоположения.

Хотя ряд технических проблем все еще находится в стадии обсуждения, рынок, похоже, уверен, что EUV-литография принесет существенную пользу полупроводниковой промышленности в обозримом будущем.

Что следует за EUV с высокой числовой апертурой? Пока, кажется, еще нет серьезного ответа. С одной стороны, несколько исследовательских групп готовятся к более коротким длинам волн. Два учреждения Немецкого общества Фраунгофера завершили исследовательский проект «За пределами EUV» в 2016 г.